一、 产品概述
涡轮分子泵是一种高速旋转的动量传输型真空泵,其工作压强范围一般为10-1Pa~10-8Pa,是实现高真空和超高真空的重要真空获得设备之一。分子泵具有启动速度快、工作范围广、运行功耗低、洁净度比较高和维护操作简单等优势。
此分子泵是我司新推出的第二代分子泵产品,主要针对工业真空领域进行全新的设计和优化升级,是国内首推的系列控制器一体化的工业真空分子泵产品。按照口径分划分,主要有 DN160、DN200 和 DN250 三款产品,该系列产品主要特征有:
(1) 一体控制:采用控制器一体化设计,节约宝贵空间;
(2) 使用方便:采用 AC220V 供电,可以实现一键启停;
(3) 产品可靠:整体转子一体成型,无位置高速电机驱动;
(4) 功能多样:配件齐全,可提供客户定制方案;
(5) 轴承全部采用进口脂润滑陶瓷球轴承,可任意角度安装;
(6) 提供转速可调功能,满足客户一款泵多种抽速的要求;
(7) 提供怠速运转模式,可以有效延长产品寿命;
(8) 优异的冷却系统,可满足高负载情况下的可靠运转;
(9) 风冷组件可选;
(10)可抽除腐蚀性气体,可在较恶劣的工况下工作;
二、应用
本系列产品主要适用 PVD、CVD、液晶平板等工业镀膜、科学研究等多个领域。
三、分子泵的技术参数
四、外形尺寸