详情描述：
这种集成泵结构紧凑，专为弹性集成到半导体生产设施中而开发。该系列紧凑型泵专为直接安装在工具或晶圆厂的底层地板上而设计，可实现频繁而快速的抽真空循环。它是用于装载互锁和传输室以及所有其他非腐蚀性应用的完美解决方案。
