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特征LR系列：除了在低温范围内进行均匀温度排气外，它还是排气充放电室的理想选择，在排气室中，缩短排气时间以提高产量至关重要。HR系列/ UR系列：能够在高温范围内以气态排放在均匀温度CVD，蚀刻等中产生的可升华的废气。在1000毫秒内防止瞬时断电的措施符合CE（可选）用活性气体（CVD，干法蚀刻等）惰性气体排放（溅射，气相沉积，热处理等）装卸室（LR系列）的排气时间更短产生粉末的过程中的排气（拉单晶硅等）作为辅助排气泵（涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气）
