leybold 真空泵维修 涡轮增压90 i / iX

详情描述：

抽速（Ar）：
83升/秒
抽速（He）：
90升/秒
抽速（H 2）：
78升/秒
抽速（N 2）：
90升/秒
涡轮增压90 i / iX
涡轮分子真空泵（TURBOVAC）用于需要清洁的高真空或超高真空的应用，例如在研究，开发或工业领域（例如半导体行业，分析仪器或涂层技术）中。
工作原理
原则上，涡轮分子泵是在壳体中快速旋转的涡轮机，在该壳体中，涡轮机的转子级涡轮分子泵（TURBOVAC i）的剖视图配备有多个转子叶片。固定的定子盘位于旋转的转子叶片之间，叶片的方向相反。借助于从旋转的转子叶片到气体分子的动量传递，它们的初始非方向性的热运动被改变成从泵的入口法兰在轴向方向上朝着前向法兰的方向性运动。在分子流范围内（即压力低于10 -3 mbar（0.75 x 10 -3Torr））气体分子的平均自由程比转子和定子叶片之间的间距大（通常为十分之一毫米）。相应地，分子主要与光学致密的转子叶片碰撞，从而导致高效的泵送作用。在层流范围内（即在超过10 -1 mbar（0.75 x 10 -1托）的压力下），分子自身之间的频繁碰撞会削弱转子的作用。因此，涡轮分子泵不能在大气压下泵送气体。
转子轴承
莱宝提供不同的转子轴承系统。纯经典机械类型的转子轴承（TURBOVAC）或电磁转子轴承（TURBOVAC MAG），以及混合轴承（TURBOVAC i / iX），其中前排侧的轴承是陶瓷球轴承，终身润滑，并且该轴承在高真空侧通过非磨损磁性轴承实现。对于所有这些类型的轴承，典型的是它们不需要任何润滑油，在这种情况下，由于缺乏任何泵送作用，泵的停止状态可能会扩散回到真空室中。
驱动电子/控制单元
驱动和监控涡轮分子泵需要一个电子变频器（逆变器）。变频器为电动机提供驱动电压和输出频率，并自动监视系统。通过稳定增加电压和频率馈送，可以使泵转子达到zui佳运行状态。在达到额定转速后，启动电流以受控方式减小到正常运行所需的水平。
TURBOVAC的变频器和电动机的设计即使在高进气压力下也能使速度下降zui小。在从分子流到粘性流的过渡范围内，这也确保了zui高的气体通过量。
根据给定的系统和安装条件，控制单元可能会附加各种可选附件，以方便在现有安装中进行集成。
前排泵
由于涡轮分子泵不能直接抵抗大气压压缩，因此它们的运行将始终需要足够额定的真空泵。对于具有转子叶片的经典转子装置，通常两级旋转叶片泵（TRIVAC）是合适的。在某些情况下，单级旋转叶片真空泵（SOGEVAC BI）或涡旋真空泵（SCROLLVAC）。在大范围变体中，转子配备了额外的压缩级（复合级），隔膜真空泵（可以使用DIVAC）。
 
特征量
抽速（体积流量）
抽速“ S”是通过泵进气口的输送流量。它取决于气体的类型，因此，通常针对空气或氮气分别标称额定抽速，即泵的zui大可达到抽速。在高真空工程领域中，通常以测量单位[l / s]表示抽速。抽速是入口压力S = S（p 1）的非线性函数。
气体通过量
气体通量“ Q”，度量单位[mbar xl / s]通过入口压力与抽气速度相关。Q ＝ Q（p 1）＝ p 1 * S（p 1）。
压缩
压缩“ K”定义为涡轮分子泵前排侧压力与高真空侧压力之间的比率。K = K（p VV）= p VV / p HV。压缩取决于气体的类型。
极限压力（基准压力）
可以烘烤的涡轮分子泵的极限压力“ pult ”是通过24小时烘烤（脱气）后48小时在测试室中达到的前排压力与压缩比之间的比值来定义的安排。p ult＝ p FV / K 0。
可达到的zui大极限压力尤其取决于设备的清洁度，所使用的前排泵的类型，用于高真空法兰的密封件的类型以及烘烤条件。