ulvac 真空泵维修 涡轮增压90 i / iX

详情描述：

抽速（Ar）：
83升/秒
抽速（He）：
90升/秒
抽速（H 2）：
78升/秒
抽速（N 2）：
90升/秒
涡轮增压90 i / iX
涡轮分子真空泵（TURBOVAC）用于需要清洁的高真空或超高真空的应用，例如在研究，开发或工业领域（例如半导体行业，分析仪器或涂层技术）中。
工作原理
原则上，涡轮分子泵是在壳体中快速旋转的涡轮机，在该壳体中，涡轮机的转子级涡轮分子泵（TURBOVAC i）的剖视图配备有多个转子叶片。固定的定子盘位于旋转的转子叶片之间，叶片的方向相反。借助于从旋转的转子叶片到气体分子的动量传递，它们的初始非方向性的热运动被改变成从泵的入口法兰在轴向方向上朝着前向法兰的方向性运动。在分子流范围内（即压力低于10 -3 mbar（0.75 x 10 -3Torr））气体分子的平均自由程比转子和定子叶片之间的间距大（通常为十分之一毫米）。相应地，分子主要与光学致密的转子叶片碰撞，从而导致高效的泵送作用。在层流范围内（即在超过10 -1 mbar（0.75 x 10 -1托）的压力下），分子自身之间的频繁碰撞会削弱转子的作用。因此，涡轮分子泵不能在大气压下泵送气体。