ulvac 真空泵维修 LR421-T

详情描述：

特征
LR系列：
除了在低温范围内浸泡惰性气体外，它还是排气充放电室的理想选择，缩短排气时间对于提高产量尤为重要。
HR系列/ UR系列：
能够在高温范围内以气态排放在均匀温度CVD，蚀刻等中产生的可升华的废气。
在1000毫秒内防止瞬时断电的措施
符合CE（可选）
用
活性气体（CVD，干法蚀刻等）
惰性气体排放（溅射，气相沉积，热处理等）
装卸室（LR系列）的排气时间更短
产生粉末的过程中的排气（拉单晶硅等）
作为辅助排气泵（涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气）