详情描述：
干式真空泵LR系列通过其独特的高温浸泡技术有效利用压缩热，从而在CVD和蚀刻等坚硬工艺中实现了高耐久性。在轻型过程中，结合ECO-SHOCK可减少约80％的功耗。此外，我们使所有型号都与CE（选件）兼容，以提高可维护性并降低噪音。
