ulvac真空泵维修 PRC-012A

详情描述：

PRC系列是机械增压泵，主要设计用于要求特别高清洁度的半导体/液晶制造工艺中。
通过使用罐装电动机，不会发生轴封漏油的情况。可以选择大气压驱动类型。
由于在内部没有润滑油无油套管，可以针对蒸汽如水蒸汽和溶剂来获得稳定的性能。
采用
屏蔽电动机通过采用屏蔽电动机，可以消除大气/真空的机械密封。它可以在清洁的环境中使用，而不必担心漏油。
具有出色耐腐蚀性的表面处理
主体零件均经过了高硬度和出色耐蚀性的铝矾土处理，以抑制泵内部的刮擦和腐蚀。也可以选择表面处理。

可与粗抽泵同时启动可有效缩短排气时间的大气压驱动型（变频器），因此与标准型相比，排气时间可缩短。