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EV-M型设计用于苛刻的应用,在半导体,液晶和太阳能电池制造过程中会产生大量副产品。EV-M型掌握了在恶劣环境下的耐受性与能效之间的平衡。该新一代干式真空泵系列充分满足了客户的需求,以大程度地减少停机时间并降低运行成本。