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大家选购输送带的注意事项。要准确说明具体物料的名称、性质,特别是粒度、温度、可否具有酸、碱等腐蚀性和特殊要求。如耐热输送带的使用温度要说明。说明具体应用场合,要求规格(宽度、长度、层数、厚度等),尤其是耐热输送带的使用温度与运量大小。输送带在运输和贮存中,应保持清洁避免阳光直射或雨雪浸淋,防止与酸、碱、油类、有机溶剂等物质接触,并距离发热装置一米以外。输送带贮存时仓库温度宜保持一18-4℃之间,相对湿度宜保持在5-8%之间。
因为这是掌握AMC控制的基础,必须先行;按今后IC的生产要求,生产线的设备采用微环境隔离,各设备间园片的传送采用前开式标准片盒(FOUPs)系统,对园片进行隔离。早已对设备、FOUPs系统及微环境所用的材料要求不释放及吸附有关悬浮分子污染物的问题以及对此污染物的去除措施进行研发,并不断改进中;控制AMC的过滤器。近年来尤其是近2~3年来,对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展;A.不释放AMC物质的HEPA/ULPA;低硼超细玻璃纤维过滤器,现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多;b.多孔聚四稀(ePTFE)过滤器,为薄膜结构,价格比a要高出十倍左右。
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