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可手动将阀门开启几次，把脏物冲去。#8226;密封面损伤，应根据密封面损伤程度，对密封面进行研磨修复。#8226;由于装配不当或管道载荷等原因，使零件同心度遭到破坏，应重新装配。#8226;阀门整定压力与设备正常工作压力太接近，导致密封面比压力过低。应对开启压力进行适当调整。#8226;弹簧松弛，由于高温或腐蚀等原因造成，应更换弹簧。若是调整不当，则应重新校验。阀门启闭不清脆#8226;调节圈调整不当，应重新加以调整。

因为这是掌握AMC控制的基础，必须先行;按今后IC的生产要求，生产线的设备采用微环境隔离，各设备间园片的传送采用前开式标准片盒(FOUPs)系统，对园片进行隔离。早已对设备、FOUPs系统及微环境所用的材料要求不释放及吸附有关悬浮分子污染物的问题以及对此污染物的去除措施进行研发，并不断改进中;控制AMC的过滤器。近年来尤其是近2～3年来，对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展;A.不释放AMC物质的HEPA/ULPA;低硼超细玻璃纤维过滤器，现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多;b.多孔聚四稀(ePTFE)过滤器，为薄膜结构，价格比a要高出十倍左右。