六甲基二硅氮烷

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六甲基二硅氮烷 999-97-3 减尾剂 中间体
中文别名：六甲基二硅亚胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS
分子式 C6H19NSi2
分子量 161.39
CAS号 999-97-3
EINECS号 213-668-5
密度：	0.765
熔点：	-78℃
沸点：	125℃
闪点：	20℃
性　状 无色透明液体、无毒、略带胺味
用途：中间体，是羟基及氨基保护剂；特种有机合成。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。