高分辨率表面光电压谱测量仪

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束蕴仪器

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SPSresearch是一个紧凑的台式非接触电学表征工具，用于离线生产控制或研发，为先进材料研发和QA/QC检查的高灵敏度、高分辨率表面光电压谱测量仪器，在稳态或短脉冲激励下，在的注入范围内测量样品的表面光电压（SPV），并在的波长范围内连续扫描。这使得任何光活性样品的真正光谱测量能够以一种可靠的方式进行。自动的样品识别和参数设置使其能够轻松地适应各种不同的样品，包括外延层和经过各种加工步骤的晶圆，从原生材料到成品器件。

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