束蕴仪器
XRD-OEM的特点
可以集成任何自动化或处理系统且适用于极端环境(研磨、锯切)
紧凑、标准的工业接口
单独的定位测量，可测量平面或圆周
光学等级检测
解决了行业难题:
如果加工设备和定向测量是分开的，那么就会因为样品转移而造成定向误差
市场对于精准对齐的晶圆的需求量越来越大
将测量过程整合到工业生产中（研磨或锯切）
无需移动样本即可进行定向，可与打磨产线相结合直接进行在线检测
