质谱分析

TOF-SIMS 中，根据分子结构反映的质谱，能更详细的对

化学结构进行分析。

影像分析

影像的分辨率，测量时有种可供选择: 256 x 256 ,512x512, 1024x1024 ，每个像素点都存贮着质谱的信息。

测量之后，任伺区域的质谱都可以在後数据处理时提取出来。

深度剖析

TOF-SIMS 中，经过反复测量和溅射，得到深层的结构。

这段期间内，所有的质谱都会被保存，完成测量后，任意深度的质谱都可以在後数据处理时提取出来。

三维剖析

深度概况的数据源于在深度改变时样品结构的变化，在进行完深度分析後不仅可以拥有内部的信息，

三维构筑的信息也可以得到。

多功能样品处理

样晶托

提供了两种类型的标准样晶托，有直径25mm ，样晶在样晶托背面安装并固定( Back-mount) ，

能放个样品的样品托，方便对准样晶高度。也有直接在样晶托正面安装样晶，可放置和样晶托一般

大小的样晶 (100mm ，方便制样。

加热冷却样品托

用液氮冷却和用加热器加热样晶台，在-150t 200t 之间可控。样晶托上配有温度感应装置，当样晶

在进样室开始，软件即马上显示实时温度回读。另外也可以选配比较高可达600t只做加热的样晶托。