FBM220

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FBM220

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声速vL（纵向）。低声速材料可以使用较薄的压电层，从而实现更小的器件。从这个指标看，ZnO和PZT优于AlN。

　　固有材料损耗。ZnO和AlN都是在BAW滤波器中经过验证的材料。目前PZT在呈现足够低的固有衰减方面还不成功。

　　温度系数。由于压电层决定了谐振频率，因而它的温度系数对器件的温漂有巨大的影响。于ZnO相比，AlN的温度系数是相当低的。

　　制备压电薄膜的实用的淀积方式是磁控溅镀法。这种方法对AlN和ZnO很有效，这两种材料都可以被纯金属靶材溅镀。AlN可以通过等离子体轰击超纯铝靶材而被溅镀，这些等离子体是由低压注入的氩、氮混合气产生的。

　　BAW谐振器的性能还会受材料的其他几种参数的间接影响。如果压电材料有较高的热传导率，这将有助于提高滤波器处理大功率信号的能力。AlN是一种良好的热导体。考虑到湿润环境下器件的可靠性，材料的化学稳定性也是一个问题。ZnO的化学性质不稳定，而AlN则非常稳定，甚至在烈性的酸中也难以被腐蚀。还有一个需要优化的参数就是压电层的击穿电压。这与介质材料的能带隙有关，此外还与淀积材料的缺陷密度有关。

FBM220

Modicon: (3)E550MA-W920-D2 (3E550MAW920D2)
Siemens Light Switch PCB
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Modicon: 100-166 (100166)
Motion Control Card
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Modicon: 110 CPU 411 00 (110CPU41100)
Brick style PLC
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Modicon: 110-091 (110091)
Modicon Drive Unit
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Modicon Drive Unit
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Modicon: 110cpu51200 (110cpu51200)
Modicon Micro 16in/12out
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Modicon Micro 16in/12out
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